测试那天,林建国在实验室里转了三圈。
那台光刻机蹲在无尘间中央,银白色外壳上缠满传感器线,像爬了藤的老树。他站在玻璃窗外,盯着里头那片矽片,手心全是汗。
孙小梅在调参数。手指拧一下旋钮,看一眼屏幕,再拧一下。额头的汗珠子顺着脸颊淌,淌到下巴,滴在工作服上,洇出一小片深色。
「林组长,光源稳了。」
林建国凑到屏幕前。曲线还在跳,比刚才稳了些。
「再等等。」
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等了十分钟。曲线彻底平了。
林建国吸了口气,按下启动键。
机器转起来。嗡嗡的,像一群蜜蜂闷在玻璃罐里。矽片在工件台上缓缓移动,光源一闪一闪,把微小的图案刻上去。
十分钟。
二十分钟。
第三十五分钟,警报突然响了。
「滴——滴——滴——」
孙小梅脸白了:「曝光剂量飘了!正在往上窜!」
林建国扑到屏幕前。那条本该平直的绿线正斜着往上爬,照这个速度,用不了五分钟,整批矽片就得报废。
「怎麽回事?」
「不知道!反馈回路可能出问题了!」
林建国脑子空白了两秒。九十纳米,三个月的心血,全都在这台机器里转着。
他扭头看孙小梅。她盯着屏幕,手指悬在急停按钮上,在抖。
「别停。」林建国嗓子里像塞了沙子,「手动介入,给我往下压。」
孙小梅愣了半秒,咬牙把手收回来,开始拧那些平时根本不动的手动旋钮。她拧一下,看一眼屏幕,再拧一下。绿线还在爬,但爬得慢了。
林建国盯着墙上的倒计时。还有十六分钟。
「继续压。」
「压不动了!到底了!」
林建国冲过去,站在她身后:「把阻尼关了,强拧!」
孙小梅手一顿。关了阻尼,拧过头就是短路。
她没说话,伸手把阻尼开关拨上去,按住那个旋钮,一点一点往过拧。
绿线停了。
停在临界值上,轻轻发颤,就是不往上走了。
林建国屏住呼吸。
一分钟。
两分钟。
五分钟。
机器嗡地一声,停了。
孙小梅的手还按在旋钮上,整个胳膊都在抖。她慢慢松开,退后一步,靠在操作台上,大口喘气。
林建国没动。他看着屏幕上那根终于落下来的绿线,喉结滚了一下。
「去取片。」
孙小梅撑着站起来,走进无尘间。她把矽片取出来,放到显微镜底下,凑上去看。
一动不动。
林建国在外头等得受不了,推门进去。
「怎麽样?」
孙小梅抬起头,脸上的表情说不清是哭还是笑。
「成了。」
林建国把她拨开,自己凑到显微镜前。
镜头里,那些线条整整齐齐趴着,宽窄一致,边缘光滑。九十纳米,真的刻出来了。
他直起身,看着那台机器,看着那片矽片,看着孙小梅那张糊了汗的脸。