梁志远应了下来，同时让厂务主管立刻安装库存的那套过滤器。三号洁净间的气体纯化改造从下午两点开始，供应商锺工的技术团队同步调整射频发生模块的匹配网络参数，为过滤器安装后的等离子体密度重新校准做准备。

薄膜沉积设备改造机组的调试比刻蚀设备更紧迫。这台机组的核心改造是替换进口真空计——印巴装配厂两个月前暴露的真空计供应链风险在这台机组上同样存在。国产替代真空计的量产版本在三周前通过了出厂测试，精度稳定性在连续两百小时运行中偏差不超过百分之零点五，但出厂测试环境和合城二期产线的实际工况存在差异。产线工况的变量远比实验室复杂——环境温度波动丶电网电压谐波丶冷却水循环的微小振动，每一项都可能影响真空计的长期稳定性。

负责真空计替换测试的是追光设备工程团队的一名资深工程师，叫丁勇。他把国产真空计在合城二期实际工况下的前四十八小时运行数据全部采集下来，和进口真空计的同期数据进行逐点对比。对比结果总体正面——压力读数的最大偏差在百分之零点三以内，响应速度比进口型号快了零点二秒，唯一的问题是零点漂移在开机后的前十五分钟内比进口型号大了零点一个数量级，十五分钟后趋于稳定。

「零点漂移的原因找到了。」丁勇把真空计的信号放大电路板翻过来，指着其中一个运算放大器的封装外壳，「国产运放的封装材料在温度快速变化时的热膨胀系数和电路板基材不匹配，开机前十五分钟电路板从室温升到工作温度的这段时间里，封装应力拉扯运放的输入级，导致零点漂移。稳定之后就没事了，但前十五分钟的数据不能用于工艺控制。」

梁志远蹲下来看了那块电路板的封装，问了一个直接的问题：「换封装材料还是换运放型号？」