梁志远点头。「考虑了。我们的数据来自八条追光三期产线，分布在合城产业园的不同厂房。环境温度丶湿度丶洁净度都不一样。统计分析显示，环境因素对设备可靠性的影响在百分之五以内，可以忽略。这说明，追光设备的鲁棒性好，能适应不同环境。」

会议进入第二个议题——追光四期加速老化测试的详细数据。

张京京站起来，接过了汇报。她对追光四期的每一个零部件都了如指掌，从腔体材料到气体管路，从射频电源到真空泵，每一个细节都刻在脑子里。

「追光四期的加速老化测试，持续了三个月，等效运行时间一万二千小时。测试方法是在实验室里模拟最恶劣的工艺条件——最高温度丶最大功率丶最快节拍，让设备在短时间内经历正常使用中几年才会遇到的应力。」

她调出了第四页报告，是一张零部件的失效分析表。

「测试覆盖了追光四期的二十八个核心零部件。其中，二十五个通过了测试，没有出现任何故障。三个出现了问题的零部件是——气体质量流量控制器丶射频电源的电容模组丶以及真空泵的轴承。」

「气体质量流量控制器，在等效运行八千小时时，精度从百分之一漂移到了百分之一点五。原因阀芯磨损。解决方案是——更换阀芯材料，从不锈钢换成陶瓷。陶瓷阀芯的磨损率是不锈钢的五分之一。我们已经在新的质量流量控制器上用了陶瓷阀芯，重新测试了三千小时，精度稳定在百分之一以内。」

「射频电源的电容模组，在等效运行一万小时时，容量下降了百分之十五，导致输出功率不稳定。原因是电容老化。解决方案是——把电容模组从铝电解电容换成薄膜电容。薄膜电容的寿命是铝电解电容的三倍。我们已经完成了设计替换，重新测试合格。」

「真空泵的轴承，在等效运行九千小时时，出现了异常振动。原因是润滑脂失效。解决方案是——更换高温润滑脂，并把轴承的维护周期从八千小时缩短到六千小时。这样虽然增加了维护频率，但可以避免意外故障。」

林薇问:「这三个问题的解决方案，已经在追光四期的量产设备上实施了吗？」

张京京说:「实施了。追光四期的前三条产线，用的都是改进后的质量流量控制器丶射频电源和真空泵。后九条产线，也会用改进版本。」