梁志远调出了第四页，是设备故障的统计图表。

「后九条产线试运行期间，累计记录设备故障四十七次。其中，轻微故障三十九次，平均修复时间二点四小时。严重故障八次，平均修复时间十一小时。严重故障中，五次是传感器误报，两次是机械臂定位偏移，一次是真空泵轴承磨损。」

「整线平均无故障时间一千二百四十小时，比前三条产线的一千二百小时提升了百分之三点三。核心设备的平均无故障时间——光刻机一千八百小时，刻蚀机一千三百小时，沉积设备一千五百小时，检测设备两千一百小时。」

林薇问:「那一千二百四十小时的平均无故障时间，和旧秩序的设备比怎么样？」

梁志远调出了第五页，是一张对标分析图。

「旧秩序同类产线的平均无故障时间，行业公开数据是一千小时。我们比他们高出百分之二十四。可靠性提升的主要来源有三个——第一，梯度过渡层的寿命从一千五百小时提升到两千五百小时以上，减少了开腔维护频率。第二，内构件的材料升级，耐腐蚀性提升了百分之四十。第三，预测性维护模型的上线，提前预警了百分之六十的潜在故障。」

章宸说:「预测性维护模型，用的是天枢AI的设备健康管理模块。模型基于振动丶温度丶电流丶压力等四十七个特徵参数，可以提前七十二小时预测百分之六十的故障。误报率百分之八，漏报率百分之十二。这个精度，还在持续优化。」

陈醒点头。「可靠性的数据，要整理成白皮书，发给所有追光设备的客户。客户买的不是设备，是设备的正常运行时间。」

会议进入第三个维度——工艺能力和关键指标控制。

张京京接过了汇报。她调出了第六页，是一张工艺能力的Cpk（过程能力指数）表。

「后九条产线的关键工艺步骤，Cpk值全部在一点三以上。其中，光刻对准精度Cpk一点六七，刻蚀均匀性Cpk一点五五，薄膜厚度均匀性Cpk一点四八。这些数据，和旧秩序的最先进产线处于同一水平。」

「特别值得提的是，改进后的沉积模块，在梯度过渡层的厚度控制上，Cpk从一点二提升到了一点四。这意味着，梯度过渡层的寿命预测更准确，客户可以更精确地安排维护计划。」