张京京调出了第三页报告,是一张寿命测试曲线图。
「梯度过渡层的寿命验证,我们做了两种测试。第一种,加速老化测试。在实验室里模拟极端工艺条件,连续运行了三千小时。测试结束后,梯度过渡层的磨损深度只有预期的一半,表面粗糙度仍在规格内。第二种,产线实测。在追光四期二号线上,用真实的工艺条件连续运行了四百个小时,每五十个小时取样一次。四百小时的测试数据显示,梯度过渡层的性能衰减曲线非常平缓,预计实际寿命可以超过两千五百小时,达到三千小时左右。」
「两千五百小时是什么概念?」章宸问。
张京京说:「按每天运行二十小时算,两千五百小时可以跑一百二十五天,也就是四个月。三千小时是一百五十天,五个月。这意味着,追光四期只需要每四到五个月更换一次内构件,每次更换停机十二小时。相比之下,追光三期每八百小时就要换一次,大约四十天,停机十二小时。停机频率从每四十天一次降到每四个月一次,产能损失减少了三分之二。」
老韩笑了,这是今天会议上的第一个笑容。「梯度过渡层,成功了。」
苏黛问:「梯度过渡层的成本是多少?能不能在追光三期上推广?」
张京京说:「梯度过渡层的制造成本比原来的单一涂层高百分之三十,但因为寿命是原来的三到四倍,综合成本反而更低。追光三期无法使用梯度过渡层,因为三期的腔体结构不支持。三期只能用我们之前验证的小改型方案,把寿命从八百小时提升到一千二百到一千五百小时。」
老韩说:「那就够了。追光三期撑过十八个月的过渡期,等追光四期全面接棒,三期就可以退役了。」
会议进入第二个议题——追光四期的产能爬坡计划。
老韩亲自走到白板前,画了一张产能曲线图。
「追光四期十二条产线,分三批投产。第一批,前三条产线,今天评估通过后,下个月正式投产,月产能八千片晶圆。第二批,中间六条产线,三个月后投产,月产能再加一万六千片。第三批,后三条产线,六个月后投产,月产能再加八千片。全部投产后,追光四期的总月产能是三万二千片晶圆。」