**高风险项一:矽片。** 目前未来科技的矽片百分之百采购自旧秩序的两家供应商——一家在北洲，一家在欧陆。国内也有矽片供应商，但纯度和良率达不到追光产线的要求。一旦断供，追光产线只能撑三个月。

应对措施:第一，加速国内矽片供应商的认证。目前有一家国内供应商的样品在测试，纯度达标，但良率低五个百分点。追光产线正在做工艺适配，预计两个月内完成。第二，建立矽片安全库存。把库存水平从两个月提升到六个月，额外占用资金两亿元。第三，开发再生矽片技术。把用过的不合格矽片回收再利用，降低对新矽片的依赖。

责任人:老韩。完成时间:四个月。

**高风险项二:光刻胶。** 追光产线用的光刻胶，目前百分之八十采购自旧秩序，百分之二十来自国内供应商。但国内供应商的产品在解析度和灵敏度上还有差距，只能用在非关键层。

应对措施:第一，联合国内供应商攻关。未来科技出钱丶出设备丶出人才，和供应商共同开发高解析度光刻胶。目标是一年内追平旧秩序。第二，调整工艺。把国内光刻胶用在非关键层，把旧秩序的光刻胶用在关键层，延长旧秩序库存的使用时间。第三，建立光刻胶安全库存，提升到八个月。

责任人:张京京。完成时间:六个月。

**高风险项三:真空泵。** 追光产线的真空泵，目前百分之百采购自旧秩序。国内有替代品，但寿命和稳定性差很多。旧秩序真空泵的寿命是两万小时，国内只有八千小时。

应对措施:第一，小改型验证。把国内真空泵装在追光三期的非关键位置做测试，积累数据，推动改进。第二，建立真空泵维修能力。从旧秩序采购维修备件，自己修，延长使用寿命。第三，联合国内厂家开发下一代真空泵，未来科技出技术标准，厂家负责制造。

责任人:梁志远。完成时间:八个月。

**高风险项四:质量流量控制器。** 这个部件是最难替代的。国内没有成熟的产品，精度和稳定性差距太大。追光产线对气体流量的控制精度要求是百分之一，国内产品只能做到百分之五。

应对措施:第一，联合中科院的研究所，共同开发。原型机已经出来了，精度百分之二点五，还需要优化。第二，调整工艺，降低对流量控制精度的要求。通过工艺窗口的拓宽，容忍更大的流量偏差。第三，建立质量流量控制器的维修和校准能力，从旧秩序采购核心部件自己组装。