「启动。」张京京对着对讲机说。

产线操作员按下启动按钮。机械臂开始运转，一片晶圆被送入负载腔，经过传输腔，进入主腔体。主腔体内的等离子体在高压下点燃，发出暗紫色的光芒。沉积过程持续了四分钟，晶圆被送出来，表面镀上了一层均匀的薄膜。

第一片晶圆出来了。张京京亲自走到出片口，用戴着手套的手接过晶圆盒，送到旁边的测试间。测试间里有一台椭偏仪，用来测量薄膜的厚度和均匀性。

他把晶圆放在载物台上，关上测试舱门。仪器自动扫描，几秒钟后，屏幕上显示出了结果。

薄膜厚度一百零二纳米，目标厚度一百纳米，偏差百分之二。膜厚均匀性百分之零点八五，比追光三期原来的百分之一点五好了将近一半。

张京京盯着屏幕，没有说话。旁边的工程师们屏住了呼吸。

「均匀性百分之零点八五，比目标百分之一还好。第一片就这么好，说明涂层的均匀沉积能力很强。」张京京终于开口，语气里带着一丝压抑的兴奋。「但这才第一片，不能高兴太早。继续跑，每十片测一次。」

产线继续运转。机械臂不知疲倦地把晶圆送进送出，暗紫色的等离子体在主腔体里持续燃烧。控制室里的工程师们盯着监控屏幕，记录着每一个参数的变化。

十个小时后，第十片晶圆出来了。均匀性百分之零点八八，略高于第一片，但仍在规格内。

二十个小时后，第二十片晶圆。均匀性百分之零点九一。

三十个小时。百分之零点九五。