林薇站在长桌前，面前摊着追光四期的工艺验证计划草案，足足两百多页，每一页都贴满了标签和批注。梁志远坐在她右侧，手里拿着一台终端，上面显示着追光三期量产线的实时数据。张京京从合城赶来，坐在左侧，面前是一叠追光产线工艺改良的最新报告。章宸也到了，坐在稍远的位置，翻看着追光四期与天权晶片工艺的接口文档。

追光三期的主腔体材料实验在六周前给出了两条可行路径——梯度过渡层优先上量产，涂层改性并行研发。六千万的产线工艺改良投入已经执行了四周，旋转阴极丶等离子清洗丶洁净度升级三条线同步推进，良率从百分之九十一拉到了百分之九十三点五，距离百分之九十五的目标还差一点五个百分点。这些成绩让团队对追光技术路线有了信心，但林薇知道，追光三期只是解决了「能不能做出来」的问题。追光四期要解决的是「能不能做得更好丶更快丶更便宜」的问题。

会议开始前，林薇先让梁志远汇报了追光三期的量产数据。

「追光三期量产线，过去四周的累计数据——总投片一万两千片，良品率百分之九十三点五，比四周前提升了二点五个百分点。旋转阴极的均匀性从正负百分之五优化到正负百分之三，等离子清洗的颗粒去除率从百分之九十五提升到百分之九十八，洁净度从千级提升到百级。三条线的改良都达到了预期目标。」

「但有一个问题——梯度过渡层的工艺窗口太窄。温度丶气压丶功率三个参数的允许波动范围只有正负百分之一，超出这个范围，过渡层的结合力就会下降。产线上的操作工需要非常精细的控制，稍有疏忽就会造成批量报废。我们正在开发自动反馈控制系统，把参数波动范围放宽到正负百分之三。」

林薇在笔记本上记下了「自动反馈控制」这几个字。

张京京补充道:「涂层改性的并行研发也有进展。郑教授的团队在实验室里做出了一种新型梯度涂层，结合力比现有方案高百分之三十，热膨胀系数和基体更匹配。但这个方案需要在追光四期上验证，追光三期的腔体结构不支持。」

林薇点了点头，翻到追光四期工艺验证计划的第一页。

「追光四期的定位——不是追光三期的简单升级，而是下一代镀膜平台。设计目标是——镀膜均匀性正负百分之一以内，界面结合力提升百分之五十，工艺窗口放宽到正负百分之三，单片成本降低百分之三十。同时，支持更大尺寸的基板，从目前的八英寸扩展到十二英寸。」

「验证计划分为三个阶段。第一阶段，核心模块验证，周期八周。第二阶段，整机集成验证，周期十二周。第三阶段，量产爬坡验证，周期十六周。总计三十六周，大约九个月。」

梁志远站起来，走到投影幕前，调出了追光四期的系统架构图。

「追光四期的核心改进有四点。第一，腔体结构重新设计。追光三期的腔体是单室结构，镀膜和基板传输在同一个腔室，相互干扰。追光四期采用多室结构——进样室丶镀膜室丶出样室分开，基板通过真空传输轨道移动。这样可以避免交叉污染，同时提高产能。」

「第二，镀膜源升级。从平面阴极升级为旋转阴极阵列，四个阴极可以独立控制功率和气体流量。镀膜均匀性从正负百分之三提升到正负百分之一以内。」

「第三，在线检测系统。在镀膜室内集成椭圆偏振仪和反射高能电子衍射仪，实时监测膜厚和晶体结构。发现异常可以在零点五秒内调整工艺参数，避免批量报废。」

「第四，自动化控制系统。用天权5晶片作为核心控制器，配合小芯的AI模型，实现全自动工艺优化。操作工只需要输入目标膜厚和材料，系统会自动计算最优工艺参数并执行。」

章宸听到「天权5晶片」时，抬起了头。「天权5的工程样片什么时候能出来？」

林薇回答:「天权5的架构优化方案下个月评审，工程样片预计十六周后出来。追光四期的控制系统开发可以先在天权4号上做，等天权5出来后移植过去。指令集兼容，移植工作量不大。」

章宸点了点头。

接下来，张京京介绍了追光四期与合城产线的对接计划。

「追光四期的验证，不能只在实验室做，必须和量产线结合。我们的计划是——在合城产业园新建一条追光四期中试线，投资两亿，设计产能每月一千片。中试线的作用有三个——第一，验证追光四期的工艺稳定性和重复性。第二，培养操作和维护团队。第三，为客户提供工艺开发和打样服务。」

「中试线建设周期二十四周，和追光四期的整机集成验证阶段同步。三十六周后，追光四期通过验证，中试线也建成投用。然后再用十六周时间，在中试线上跑通量产工艺，最后移植到大规模量产线。」

苏黛问了一个问题:「两亿的投资，从哪里出？」

林薇回答:「从追光项目的专项预算里出。追光三期到四期，总预算是十五亿，已经花了八亿，还剩七亿。两亿的中试线投资在预算内。」

苏黛在笔记本上记了下来。

会议进入核心议题——追光四期工艺验证计划的具体安排。

梁志远调出了一张详细的时间表。

「第一阶段，核心模块验证，八周。分四个子模块并行验证——多室真空传输模块丶旋转阴极阵列模块丶在线检测模块丶自动控制模块。每个模块在独立的实验平台上验证，达标后进入第二阶段。」

「第二阶段，整机集成验证，十二周。把四个模块集成到一台完整的追光四期样机上，在实验室环境下连续运行，验证整机的稳定性丶可靠性丶以及工艺性能。这个阶段会生产一千片测试样片，进行全面的物性分析和可靠性测试。」

「第三阶段，量产爬坡验证，十六周。把追光四期样机搬到合城的中试线上，在实际生产环境下运行。目标是连续生产五千片，良率稳定在百分之九十五以上，平均无故障时间超过五百小时。达到这个目标后，追光四期就可以进入大规模量产。」

林薇追问了一个关键问题:「每个阶段的通过标准是什么？」

梁志远翻到了验证计划的附录。

「第一阶段，每个子模块的关键指标达标——真空传输模块，基板传输速度每秒五百毫米，定位精度正负零点一毫米，破真空到恢复时间小于两分钟。旋转阴极阵列，镀膜均匀性正负百分之一以内，靶材利用率百分之七十以上。在线检测模块，膜厚测量精度正负零点一纳米，晶体结构识别准确率百分之九十九。自动控制模块，工艺参数自动调整响应时间小于零点五秒，工艺优化收敛时间小于十分钟。」

「第二阶段，整机连续运行五百小时，无重大故障。测试样片的膜厚均匀性正负百分之一以内，界面结合力比追光三期提升百分之五十，工艺窗口温度正负三度丶气压正负百分之三丶功率正负百分之三。」

「第三阶段，连续生产五千片，良率百分之九十五以上，平均无故障时间五百小时。单片成本比追光三期降低百分之三十。工艺文档和培训手册完整，操作团队通过考核。」

周明问了一个问题:「追光四期的智慧财产权保护怎么做的？这么先进的技术，如果被竞争对手模仿或者窃取，损失会很大。」

林薇让法务团队的代表回答了这个问题。那是一个三十出头的专利工程师，姓吴，戴着黑框眼镜，说话条理清晰。

「追光四期的核心技术，我们已经布局了四十七项专利申请，其中发明专利三十九项丶实用新型八项。覆盖了多室结构丶旋转阴极阵列丶在线检测丶自动控制四个模块。另外，有十二项技术作为商业秘密保护，不申请专利，只在内部知悉。」